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HLCVD六温区真空管式炉

HLCVD六温区真空管式炉

简要描述:

主要数据
名称数据
有效尺寸直径50*温区200*200*200*200*200*200
长期使用温度200-1100℃
最高温度1200℃
温控30段智能温控, 控制 自动升温,自动降温,
壳体设计电炉壳体采用双层强制风冷构造,使电炉在最高温度工作时炉壳外部温度接近室温
可通气体所有惰性气体 混合性气体 氮气 氧气 水蒸气等……
升温速率≤0~ 20.C/ min
其它配

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主要数据

名称

数据

有效尺寸

直径50*温区200*200*200*200*200*200

长期使用温度

200-1100℃

最高温度

1200℃

温控

30段智能温控, 控制 自动升温,自动降温,

壳体设计

电炉壳体采用双层强制风冷构造,使电炉在最高温度工作时炉壳外部温度接近室温

可通气体

所有惰性气体 混合性气体 氮气  氧气 水蒸气等……

升温速率

≤0~ 20.C/ min

其它配置

坩埚钳1把 高温手套1  说明书  

温控安全

电炉采用集成化电路,模块控制、双回路保护(偏温保护、超高温保护、断偶保护、超流保护、超压保护)

控温精确度

±1℃

炉温均匀性

≤±5

真空泵

机械泵

炉膛材质

高密度氧化铝陶瓷纤维

炉膛设计

炉膛采用台阶式拼装结构,融合了力学定律,有效的保证了炉膛在加热过程中受力均匀,保障了热能不易散失,延长了炉膛的使用寿命。

加热元件

电阻丝

热电偶

K型

 

CVD六温区真空管式炉:平行式可开启设计,分六个温区每个温区各200mm  管径直径为:50mm。每个温区可单独控温,加热原料为进口电阻丝炉膛,容样品材料为高纯度石英管 耐腐蚀性好。

长时间工作温度可达1150℃ 两端用304不透钢法兰1套,配置机械泵1台,一套四路质子流量计。

 

详细配置

名称

炉体

热电偶

(K型)

炉衬

多晶莫来石纤维

温控仪表

真空泵

电阻真空计

真空电阻规

品牌

自制

重庆大正

阿尔赛

恒瑞

厦门宇电

机械泵

自制

自制

四路质子流量计

名称

四路质子流量计

        混气灌

  

 

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